捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備工作原理及參數(shù)

發(fā)布日期：2022-06-14      瀏覽次數(shù)：2599

企業(yè)介紹： 1998 年今天開始的地方。由于客戶對(duì)實(shí)施所提議的解決方案的興趣，一位自由設(shè)計(jì)師開始組建一家不僅能夠設(shè)計(jì)而且能夠?qū)嵤┱麄€(gè)機(jī)械的公司。自 2005 年以來，我們一直在自己的建筑中運(yùn)營，我們已經(jīng)涵蓋了自動(dòng)化所需的所有專業(yè)，并且我們擁有自己的生產(chǎn)機(jī)器。2012年，我們購買并改造了原紡織廠的大樓，成為我們現(xiàn)在的總部和進(jìn)一步發(fā)展的地方。

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備應(yīng)用：汽車
化學(xué)
電工學(xué)
半導(dǎo)體
工程
研究
保健和藥學(xué)


產(chǎn)品：硅錠鉆孔晶核設(shè)備 化學(xué)蝕刻線| 電線裝載自動(dòng)化 于計(jì)謹(jǐn)和定向套 筒和艙|長度測量設(shè)備療產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備| Epifuse自動(dòng)組裝 DS 1000配電系統(tǒng)
加酸站
自動(dòng)倒管機(jī)千伏線
鋼錠清洗化學(xué)生產(chǎn)線
壓測試儀蝕刻硅 板的化學(xué)線EBR化學(xué)品分配系統(tǒng) 自動(dòng)邏輯球罩組件

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備產(chǎn)品型號(hào)：
50950
50700
50120
50100

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備產(chǎn)品描述：
該設(shè)備設(shè)計(jì)為用于蝕刻硅板的單用途自動(dòng)箱。硅板的蝕刻和漂洗周期根據(jù)所選參數(shù)*自動(dòng)化，操作人員只需執(zhí)行輸入材料的補(bǔ)充、產(chǎn)品的取出和工藝參數(shù)的選擇。該盒子專為兩個(gè)六英寸的籃子或一個(gè)八英寸的籃子而設(shè)計(jì)。使用的材料符合 FM 4910 標(biāo)準(zhǔn)。
工藝槽（后部）專為化學(xué)混合物而設(shè)計(jì)。化學(xué)品通過循環(huán)回路。泵從溢流邊緣吸入浴缸，并通過流動(dòng)加熱器將其返回浴缸底部。
沖洗槽（前）充滿底部填料。為了更地沖洗 Si 板，將氮?dú)夤?yīng)到浴槽底部，從而導(dǎo)致 DEMI 水循環(huán)。快速排放由一對(duì)所謂的快速排放 (QD) 提供，它們是盤式氣動(dòng)閥。

捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備產(chǎn)品屬性
這個(gè)盒子是為兩個(gè)六英寸的籃子設(shè)計(jì)的或者一個(gè)八英寸的。所用材料符合FM 4910標(biāo)準(zhǔn)。工藝槽（后）設(shè)計(jì)用于化學(xué)混合物。化學(xué)物質(zhì)通過通過電路。泵從溢流邊緣吸入錫槽，并將錫槽吸入通過流量加熱器返回槽底。沖洗槽（前）充滿下部填料。實(shí)現(xiàn)更的清洗硅板被送入槽底部的氮?dú)庵袑?dǎo)致除鹽水循環(huán)。快速啟動(dòng)由該對(duì)提供所謂的快速傾卸閥（QD），為盤式氣動(dòng)閥。
•該設(shè)備設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的潔凈區(qū)域。
•該裝置的底座為箱形骨架，可實(shí)現(xiàn)支撐結(jié)構(gòu)的功能保護(hù)環(huán)境免受骨架內(nèi)部危險(xiǎn)因素的影響。
•骨架由TAKIRON材料制成。
•在骨架的處理部分，有一個(gè)帶鉸鏈蓋的透明蓋（PVC玻璃）。
•工藝和沖洗槽安裝在骨架的工藝部分。
•其下方空間用于收集和排放沖洗水。
•如果排水管堵塞，應(yīng)保護(hù)集水區(qū)
洪水浮子傳感器。
•PVDF材料制成的后蝕刻槽的填充體積：55升（槽體積）
+3升（循環(huán)回路的體積）
•液位測量
•帶隔膜泵和流量加熱器的循環(huán)回路
-槽溢流邊緣的抽吸
-通過穿孔底部在浴槽底部擠壓
-循環(huán)回路流量調(diào)節(jié)
-將除鹽水泵入循環(huán)回路
•流動(dòng)加熱器加熱和循環(huán)
•獨(dú)立測量熔池溫度的熱電偶。它還用作
超限報(bào)警元件槽的高允許溫度。
•由PVDF材料制成的前沖洗槽的填充體積為45升
•使用一對(duì)快速排放閥快速排放
•低液位傳感器（浴缸排水）
•通過氮?dú)夤呐荩ㄣ@孔底部）提高沖洗效率
帶氣泡強(qiáng)度控制
•在清洗槽更換期間，一對(duì)淋浴器浸泡硅片
•每個(gè)淋浴器允許獨(dú)立的流量控制
•搬運(yùn)帶有硅板托盤的搬運(yùn)籃的機(jī)械手
•帶計(jì)量的伺服電機(jī)（系統(tǒng)知道其位置）即使在斷電后）
•在盒子的背面有一個(gè)布線空間和化學(xué)空間
帶液壓元件。
基本技術(shù)數(shù)據(jù)
長度：880 mm
寬度：1290 mm
高度：2230 mm
重量：270 kg
電源：3 NPE 400/230V AC 50Hz TN-S